半导体器件可靠性测试平台
Lab for reliability of semiconductor devices
半导体器件可靠性测试平台是集成电路学院本科与研究生教学实验室的重要组成部分，旨在为学生提供微电子器件与电路可靠性相关实验和实践教学。同时，平台是开展新型器件与电路设计的可靠性测试与研究的重要基地。
实验室拥有全面的半导体器件与电路可靠性测试设备与仪器，包括温湿度箱、温度快变箱、温度冲击箱、三综合测试系统、功率循环系统、混合气体测试箱等，能够开展热、电、力等应力环境下的器件与集成电路的相关实验、教学和实践课程。依托实验室开展的课程有：《半导体集成电路的可靠性及评价方法》、《微电子封装与测试》、《半导体检测与分析》等。
团队主要开展“阻变存储器失效机理与失效模型”、“第三代半导体可靠性退化关键机理”等前沿基础理论研究，承担国家自然科学基金、广东省自然科学基金等在内的多个国家级、省部级课题。
图1：综合环境测试系统
图2：潮热导致器件退化
